技術(shù)編號(hào)：7144572
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種大馬士革工藝的銅互連層及其制作方法，尤其涉及。背景技術(shù)隨著器件尺寸的不斷縮小，由金屬互連引起的器件延遲越來越成為提高器件速度的阻礙，而降低金屬互連延遲一種非常有效的方法是使用更低介電常數(shù)的介質(zhì)膜。業(yè)界普遍使用的大馬士革銅互連技術(shù)，通過依次沉積、光刻、刻蝕、銅電鍍、銅研磨形成阻擋層、介質(zhì)層、設(shè)于介質(zhì)層中的銅導(dǎo)線層和阻擋層。其介質(zhì)介電常數(shù)完全由所使用的介質(zhì)層的薄膜的介電常數(shù)決定，一旦選定膜質(zhì)厚，其介電常數(shù)是固定的，無法調(diào)整?，F(xiàn)有的業(yè)界普遍使用的2...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。