技術編號：7180438
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及使用印刷法的。背景技術薄膜晶體管(下文中也稱作"TFT")和采用該薄膜晶體管的電子電路是 以如下方法制造的在襯底上疊放例如半導體、絕緣體、導體等各種類型的薄 膜，之后適當地用光刻技術形成預定圖形。光刻技術是利用光將被稱為光掩模 的電路等的圖形轉印到目標襯底上的一種技術，所述電路等的圖形是在透明平 板表面上用不透光的材料形成的。該技術已經廣泛應用在半導體集成電路等的 制造工藝中。在應用常規(guī)光刻技術的制造工藝中，僅處理用被稱作光抗蝕劑的光敏有機 樹脂...
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