技術(shù)編號:7180636
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種具有多波長處理功能的GaAs基長波長單片集成光探測器陣列的 制備方法,以及基于該陣列的外反射鏡(膜)式ROADM和底面鍵合雙陣列ROADM的設(shè)計與 實現(xiàn)方法。特別涉及了基于大失配異質(zhì)外延生長的單片集成技術(shù),半導(dǎo)體器件中多階梯諧振 腔結(jié)構(gòu)的實現(xiàn)方法,基于外反射鏡(膜)導(dǎo)光系統(tǒng)的實現(xiàn)方法,以及基于底面鍵合雙陣列導(dǎo) 光系統(tǒng)的實現(xiàn)方法。背景技術(shù)隨著WDM光纖通信系統(tǒng)與光網(wǎng)絡(luò)的迅速發(fā)展,可重構(gòu)光分插復(fù)用(ROADM)技術(shù)越 來越受到重視,必將成為下一代...
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