技術(shù)編號：7184587
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及預(yù)測半導(dǎo)體制造裝置的壽命的診斷方法，尤其涉及預(yù)測CVD裝置、干蝕刻裝置等中使用的干式泵的壽命的診斷方法。背景技術(shù) 為有效制造半導(dǎo)體器件，半導(dǎo)體制造裝置的故障診斷變得重要了。近年來，系統(tǒng)LSI中，少量多品種生產(chǎn)傾向越來越強，與此相應(yīng)需要小范圍利用的有效的半導(dǎo)體器件的制造方法。有效的半導(dǎo)體生產(chǎn)中使用小規(guī)模的生產(chǎn)線。但是，僅通過減小大規(guī)模生產(chǎn)線會由于產(chǎn)生制造裝置的運轉(zhuǎn)率降低等問題出現(xiàn)投資效率降低的問題。作為對策，有用一個制造裝置進行多個制造過程的方法，...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。