技術(shù)編號：7189442
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種半導體生產(chǎn)設(shè)備，具體涉及一種PVD工藝的半導體生產(chǎn)設(shè)備。背景技術(shù)目前使用的進行PVD (Physical Vapor D印osition物理氣相沉積)工藝的半導體 生產(chǎn)設(shè)備，是美國應用材料公司生產(chǎn)的ENDURA設(shè)備。該設(shè)備配備有漏電流保護開關(guān)，但無 漏電流監(jiān)視系統(tǒng)，如有單個部件產(chǎn)生漏電流，會導致設(shè)備整體下電，這給設(shè)備的故障診斷和 設(shè)備的修復帶來很多問題。實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種PVD工藝的半導體生產(chǎn)設(shè)備，它可以 ...
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