技術(shù)編號：7211106
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及紅外焦平面列陣成像器件的制造方法，具體是指紅外光敏感列陣芯片和讀出電路之間混成互連銦柱的微熔回流加固方法。背景技術(shù) 紅外焦平面列陣器件是既具有紅外信息獲取又具有信息處理功能的先進的成像傳感器，它由紅外光敏感列陣芯片和其相應(yīng)的硅讀出電路通過銦柱互連組成。這種銦柱互連集成方式，不僅給紅外光敏感列陣芯片與其對應(yīng)的讀出電路的輸入端之間提供機械和電學(xué)連通，還能夠緩沖紅外光敏感列陣芯片與硅讀出電路在冷熱循環(huán)下熱膨脹失配導(dǎo)致的結(jié)構(gòu)熱應(yīng)力，以保證紅外光敏感列陣芯...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。