技術(shù)編號：7224505
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種將作為檢査對象的半導體晶片與生成檢査用信號的 電路結(jié)構(gòu)之間進行電性連接的探針卡。背景技術(shù)在半導體的檢查工序中，有時在切割前的半導體晶片的狀態(tài)下通過使 具有導電性的探針(導電性接觸元件)接觸來進行導通檢查，從而檢測出不良品(WLT Wafer Level Test,晶片級測試)。在進行該WLT時，為 了將由檢查裝置(測試器)所產(chǎn)生、輸出的檢查用信號傳送給半導體晶片， 而采用收容多個探針的探針卡。在WLT中，雖然其一面以探針卡來掃描 半導體晶片上...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。