技術(shù)編號(hào)：7255935
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種電容結(jié)構(gòu)，包含有一第一電極，設(shè)于一基材上；一二氧化鈦介電層，直接形成在所述第一電極上，其中所述二氧化鈦介電層僅單純具有金紅石結(jié)晶相；以及一第二電極，位于所述二氧化鈦介電層上。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，在所述第一電極與所述二氧化鈦介電層之間不需要模版層、晶種層或預(yù)處理層。此外，也不需要對(duì)所述二氧化鈦介電層進(jìn)行任何的摻質(zhì)摻雜處理。專利說明具有金紅石結(jié)晶相二氧化鈦介電膜的半導(dǎo)體器件[0001]本發(fā)明大體上關(guān)于一種半導(dǎo)體器件，特別是關(guān)于一種改良后的高介電常...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。