技術(shù)編號：7258798
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開一種無結(jié)半導(dǎo)體器件、其制造方法以及包括該器件的設(shè)備。具有埋入式柵極的半導(dǎo)體器件的源極、漏極和主體摻有相同類型的雜質(zhì)，因而該無結(jié)半導(dǎo)體器件不包括位于源極與主體之間或位于主體與漏極之間的PN結(jié)。結(jié)果，減小了由GIDL導(dǎo)致的漏電流，從而改善了半導(dǎo)體器件的操作特性，而且使電流流動區(qū)的尺寸增大，因而使操作電流增大。專利說明無結(jié)半導(dǎo)體器件、其制造方法以及包括該器件的設(shè)備[0001]本發(fā)明涉及包括埋入式柵極的半導(dǎo)體器件，更具體地說，涉及如下具有埋入式柵極的半導(dǎo)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。