技術(shù)編號(hào)：73311
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及用于掃描探針顯微鏡的帶有懸臂、在懸臂的一端的保持元件和在懸臂 的另一端的傳感器尖端并且?guī)в袕膫鞲衅骷舛送怀龀鰜?lái)的至少部分地成圓柱形的EBD掃 描尖端的SPM傳感器，并且也涉及用于生產(chǎn)這種傳感器的方法。背景技術(shù)掃描探針顯微鏡是眾所周知的，并且在實(shí)際中與精準(zhǔn)的傳感器一起用于在原子分 辨率的水平上對(duì)樣品表面進(jìn)行掃描。掃描探針顯微鏡(SPM)也包括同樣地是眾所周知的原 子力顯微鏡(AFM)和掃描隧道顯微鏡(STM)。掃描探針顯微鏡使用包括此后稱為懸臂的微 懸臂的傳感器，該微懸臂在它的一端具有保持元件而在另...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。