技術(shù)編號(hào)：7425307
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及直線電機(jī)裝置領(lǐng)域，特別涉及一種大功率直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)器。 背景技術(shù)在光刻機(jī)中，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)器用于驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)，帶動(dòng)工件臺(tái)、掩模臺(tái)運(yùn) 動(dòng)。作為電機(jī)的驅(qū)動(dòng)裝置，電機(jī)驅(qū)動(dòng)器必須滿足高線性度、高分辨率、大功率、 寬頻帶等要求，才能保證電機(jī)的定位精度，進(jìn)而滿足光刻精度的要求?，F(xiàn)有的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)器主要有兩種，分別是線性功率放大驅(qū)動(dòng)器和脈沖寬度調(diào)制驅(qū)動(dòng)器。線性功率放大驅(qū)動(dòng)器采用多個(gè)功率管并聯(lián)而成的OTL互補(bǔ)推挽 電路或OCL互補(bǔ)推挽電路。它的優(yōu)點(diǎn)主要是頻帶寬(通常...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。