技術(shù)編號：7432764
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。靜電夾頭相關(guān)申請案本申請案主張2008年5月19日提出申請，名稱為“靜電夾頭(Electrostatic Chuck) ”的美國專利臨時申請案第61/054，259號，及2008年9月5日提出申請，名稱為“靜 電夾頭(Electrostatic Chuck) ”的美國專利臨時申請案第61/094，700號的利益。這些申 請案的全部教示以參考的方式加入本文中。背景技術(shù)靜電夾頭用以在制造過程期間固持并支撐一基板，而且不需要以機械方式夾住此 基板就可以從基板上移...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。