技術(shù)編號(hào)：7464992
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及驅(qū)動(dòng)三相電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)控制裝置，更詳細(xì)來說，涉及具有斷線探測(cè)功能的三相電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)控制裝置，其中，該斷線探測(cè)功能是對(duì)三相電動(dòng)機(jī)的內(nèi)部布線、和連接該裝置與三相電動(dòng)機(jī)的配電線路的斷線進(jìn)行探測(cè)的功能。背景技術(shù)在例如濺射裝置等半導(dǎo)體制造裝置等中，為了使腔室內(nèi)成為高真空氣氛而利用渦輪分子泵。在渦輪分子泵中，利用能夠進(jìn)行最高800Hz左右或其以上的高速旋轉(zhuǎn)的三相電動(dòng)機(jī)作為泵電動(dòng)機(jī)。在這樣的三相電動(dòng)機(jī)中，在內(nèi)部的線圈或?qū)﹄妱?dòng)機(jī)和驅(qū)動(dòng)控制裝置進(jìn)行連接的配電線路中產(chǎn)生...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。