技術編號：7505181
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種，尤其涉及一種包括橫過輸出電極的振動器電極的微型機械，以及制造該微型機械的方法，其中在振動器電極和輸出電極之間帶有間隔部分。背景技術 隨著在襯底上進行微處理的技術的發(fā)展，人們已經給予微型機械技術以關注，在微型機械技術中，將微型結構及電極、用于控制該微型結構的驅動的半導體集成電路等裝置設置在一個諸如硅襯底、玻璃襯底等的襯底上。在這樣的微型機械中，推薦使用一種微型振動器作為射頻通訊的高頻濾波器。如圖8所示，微型振動器100包括位于設置在襯底101...
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該類技術注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學習。