技術(shù)編號：8020640
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及等離子體發(fā)生裝置和技術(shù)，具體地，針對RF等離子體系統(tǒng)的自動(dòng)調(diào)諧，使反應(yīng)等離子體腔的阻抗或類似的非線性負(fù)載與RF發(fā)生器或類似的RF源的輸出相匹配。本發(fā)明更具體地涉及一種頻率技術(shù)，它自動(dòng)改變RF發(fā)生器的頻率，直至達(dá)到RF等離子體系統(tǒng)匹配的最佳頻率。在一個(gè)典型的RF等離子體發(fā)生器裝置中，一個(gè)大功率RF源產(chǎn)生給定頻率(例如13.56MHz)的RF波，它通過一個(gè)輸能管道被送到等離子體腔。通常以一個(gè)固定的已知阻抗(例如50Ω)提供RF功率。由于在RF功率源和等離子體腔之間常出現(xiàn)很嚴(yán)重的阻抗不匹配，必須采取一些...
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