技術編號：8030587
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本實用新型涉及一種用于精密自動定位及微細操作的三自由度運動平臺。目前，廣泛用于各領域的精密定位裝置的傳動方式多是由多個零部件組成的機械式硬摩擦傳動，因此，不可避免地存在著間隙、摩擦洄滯，且易發(fā)熱，定位精度很難提升到“亞微米”、“納米”級，而近年出現(xiàn)的壓電陶瓷致動柔性鉸鏈形式的超精密定位裝置，具有無間隙、無摩擦、免潤滑、不發(fā)熱等優(yōu)點，精度也能達到“納米”，但是，它只能是單方向定位，若要多方向定位時，它只能是各單方向定位的裝置的疊加組裝而成，因此，會產生累積誤差，使得結構復雜。本實用新型的目的是，制造一種具有亞...
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