技術編號：8054213
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本實用新型涉及硅 單晶生長的熱場裝置，具體為一種在適于直拉法中20英寸硅單晶生長的熱場裝置。背景技術直拉法生產硅單晶已經是該領域通用的一種技術手段，在此生產過程中，需要用到熱場裝置，通常情況下，熱場裝置包括有外殼、安裝在外殼中心的石墨坩堝、位于石墨坩堝內的石英坩堝、位于石墨坩堝外圍的加熱電極和位于石英坩堝內側的導流筒，生產過程中，石英坩堝內的原料經過加熱和局部冷卻并拉伸生長形成圓柱狀的硅單晶。傳統(tǒng)結構的熱場裝置中，各部件的相對位置設置不合理，不易形成較好的溫度梯度，不利于拉晶過程的穩(wěn)定和拉晶速度的提高，尤其...
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