技術編號：8056920
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本實用新型涉及一種單晶爐的密封門啟閉結構，屬于密封門技術領域。背景技術目前，通常使用單晶爐制取單晶硅，單晶爐自下而上的主要部件依次有爐底板、爐體、爐蓋、翻板箱、副爐等，各部件內均設有夾套層，夾套中流通有冷卻水。單晶硅一般采用如下方法制造將多晶硅裝進石英坩堝內，加熱熔化，然后，將熔硅略做降溫，給予一定的過冷度，把籽晶裝入硅籽晶夾持器中，將籽晶夾持器的上端通過連接件與籽晶軸連接，籽晶固定于夾持器的下端，并且使籽晶與硅熔體接觸，通過調整熔體的溫度和籽晶向上的提升速度，使籽晶體長大。在生產過程中，單晶爐爐體內需要保...
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