技術(shù)編號(hào):8071374
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利摘要本發(fā)明提出了。硅晶制絨液以重量份計(jì),包括5~200份的氫氧化鉀;1~50份的異丙醇;1~20份的無水乙醇;1~10份的硅酸鉀;0.1~10份多元醇。方法包括在反應(yīng)釜中將氫氧化鉀溶解于水,并對(duì)氫氧化鉀溶液進(jìn)行降溫,再依次加入異丙醇、無水乙醇、硅酸鉀及多元醇;接收罐內(nèi)接收異丙醇、無水乙醇、硅酸鉀及多元醇,其中,最后接收多元醇,接收罐內(nèi)采用氮?dú)膺M(jìn)行保壓;溶液進(jìn)入儲(chǔ)罐;通過逐級(jí)膜加壓過濾,獲得制品。采用本發(fā)明可以獲得較高純度硅晶制絨液,以提高硅片的效能。專利說明 技術(shù)領(lǐng)域 [0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。