技術(shù)編號:8078505
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利摘要本實(shí)用新型屬于定向凝固領(lǐng)域,特別涉及一種氣體冷卻式定向凝固裝置。爐體內(nèi)放置有石英坩堝,石英坩堝外壁由內(nèi)向外依次環(huán)繞有石墨發(fā)熱體、保溫套筒和感應(yīng)線圈;拉錠機(jī)構(gòu)位于爐體底部中心位置,且與外部相連通,拉錠機(jī)構(gòu)的上部為石墨螺旋板,石墨螺旋板上的螺旋通道與拉錠機(jī)構(gòu)的進(jìn)氣口相連通,石墨螺旋板的兩側(cè)邊緣處開有的出氣口。本實(shí)用新型裝置構(gòu)思獨(dú)特,能夠?qū)崿F(xiàn)硅熔體的定向生長,起到定向凝固去除多晶硅中金屬性雜質(zhì)的目的,對于相同條件下的硅料數(shù)據(jù)來看,該裝置的升溫時間短,保溫時能耗小,同時冷卻速度可控制,且晶體生長較常規(guī)的冷卻方式好,...
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