技術(shù)編號：8092331
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。專利摘要單晶爐的磁屏蔽體結(jié)構(gòu)，包括設置在單晶爐爐體外的勾形磁場裝置，勾形磁場裝置包括套設在單晶爐爐體外的筒狀的磁屏蔽體和設置在磁屏蔽體內(nèi)的兩個螺線管線圈，磁屏蔽體的內(nèi)側(cè)壁上設有第一導磁環(huán)。磁屏蔽體的上下端分別設有環(huán)形上蓋和環(huán)形下蓋，環(huán)形上蓋上設有第二導磁環(huán)，環(huán)形下蓋上設有第三導磁環(huán)。本發(fā)明在磁屏蔽體內(nèi)壁及上下蓋上設置導磁環(huán)，可有效減小磁回路的磁阻，提高了磁通量，降低了磁場功耗。專利說明單晶爐的磁屏蔽體結(jié)構(gòu)技術(shù)領域[0001]本發(fā)明屬于半導體制造設備技術(shù)領域，涉及一種單晶爐的磁屏蔽體結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)[0002]隨著半導...
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