技術(shù)編號(hào)：8112226
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及用于襯底的溫度控制的系統(tǒng)，更具體而言涉及用于襯底的溫度控制的襯底夾持器。背景技術(shù)在半導(dǎo)體制造和處理中已知的是，例如包括刻蝕和沉積工藝在內(nèi)的各種工藝非常依賴于襯底的溫度。為此，能夠控制襯底的溫度并且可控地調(diào)節(jié)襯底溫度的能力就變成對(duì)半導(dǎo)體處理系統(tǒng)的必要要求。襯底的溫度是由許多方面確定的，包括但不限于襯底與等離子體的相互作用、化學(xué)過程等等，以及與周圍環(huán)境的輻射和/或傳導(dǎo)熱交換。向襯底夾持器的上表面提供適當(dāng)?shù)臏囟瓤梢员挥糜诳刂埔r底的溫度。200780035454.0發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明涉及一種用于控制襯底溫度的...
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