技術(shù)編號：8116155
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。專利摘要本專利公開了一種具有純化母液功能的雙襯底槽液相外延石墨舟，該石墨舟包括蓋板、母液槽、雙襯底槽滑板和主體槽，在雙襯底槽滑板上有兩個相鄰的襯底槽A和B，按滑板移動方向，前一個襯底槽A裝犧牲片,后一個襯底槽B裝生長片，犧牲片用于純化母液，生長片用于生長外延薄膜。本專利的優(yōu)點在于這種獨有的雙襯底槽石墨舟通過犧牲片純化母液的手段，將有效降低母液中雜質(zhì)對外延薄膜的影響，從而達到降低外延薄膜中的載流子濃度，提高外延薄膜的電學(xué)性能的目的。專利說明具有純化母液功能的雙襯底槽液相外延石墨舟 技術(shù)領(lǐng)域 [0001]本專利世紀...
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