技術(shù)編號：8118310
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。專利摘要本實用新型公開了一種具有可拆卸隔板的生產(chǎn)多晶硅的坩堝，包括坩堝本體、坩堝護板和坩堝蓋板，在坩堝本體內(nèi)設置有用于將坩堝本體的內(nèi)部空腔分隔成第一空間和第二空間的隔板，坩堝本體底部內(nèi)側(cè)設置有用于使隔板通過插接固定于坩堝本體內(nèi)的插槽；第一空間的形狀與坩堝本體內(nèi)部空腔的形狀一致；還包括由硅粉層、SiO2顆粒層和設置在顆粒層之上的疏松的第一氮化硅涂層、設置在坩堝本體的側(cè)壁內(nèi)表面的堅硬致密的第二氮化硅涂層以及設置在第一氮化硅涂層之上的碎硅料層；硅粉層設置在坩堝本體的底部內(nèi)表面，顆粒層設置在硅粉層之上。該坩堝不需要冷沖擊，...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。