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      Filament electrical discharge ion source的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):8136196

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      絲極放電離子源本發(fā)明涉及脈沖離子源以及使用該離子源的設(shè)備例如等離子體發(fā)生器。公開(kāi)文獻(xiàn)US 3,156,842涉及氣體離子發(fā)生器,其包括形狀為旋轉(zhuǎn)狀的空心電 極,沿著所述空心電極的軸放置并具有比所述空心電極的截面小很多的截面的呈桿形的電 極,用于將處于較低壓的氣體供應(yīng)到由空心電極限定的空間中的裝置,以及用于使電子遠(yuǎn) 離空心電極的端部的裝置。也可參考公開(kāi)文獻(xiàn)US 3,970,892,US 4,025,818,US 4,642,522、US4, 694,222,US 4,910,435 和 FR 2 591 035。如果...
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