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      多晶硅全自動熔煉控制系統(tǒng)及控制方法技術資料下載

      技術編號:8256888

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      現(xiàn)有的多晶硅熔煉控制大多都是開環(huán)式控制方式,即完全靠人工操作。由于多晶硅材料熔煉周期長,完全靠人工操作中頻電源,人力勞動強度太大;完全靠人工操作時,控制精度不高,無法完全保證產(chǎn)品質量。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提出的是,其目的旨在克服現(xiàn)有技術存在的上述缺陷,實現(xiàn)功率、溫度閉環(huán)配方模式全自動熔煉控制。本發(fā)明的技術解決方案多晶硅全自動熔煉控制系統(tǒng),其結構包括可編程序控制器PLC、中頻電源功率分配板、多晶硅熔煉坩堝溫度裝置、數(shù)字顯示當前功率和溫度裝置、傳感器、4-20MA電...
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