技術(shù)編號：8262241
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。半導(dǎo)體制造設(shè)備對諸如工作環(huán)境、工作空間等各方面的要求都很高。在半導(dǎo)體制造過程中，晶片需要被搬運(yùn)的不同工位?，F(xiàn)有使晶圓升降的片針升降機(jī)構(gòu)采用線性氣缸，氣缸桿伸縮方向與片針升降方向一致。這種采用氣缸的垂直布置結(jié)構(gòu)，使得片針升降機(jī)構(gòu)占用較大的垂直方向的空間。發(fā)明內(nèi)容為了滿足半導(dǎo)體制造設(shè)備對工作空間的要求，本發(fā)明的目的在于提供一種緊湊型片針升降機(jī)構(gòu)。該緊湊型片針升降機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了在片針升降范圍相同的情況下，減小機(jī)構(gòu)占用的空間。本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的本發(fā)...
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