技術編號：8313837
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種旋轉樣品臺，具體涉及一種PVD鍍膜用的多功能旋轉樣品臺。背景技術PVD是英文Physical Vapor Deposit1n (物理氣相沉積)的縮寫，物理氣相沉積技術是指在真空條件下，采用物理方法，將材料源(固體或液體)表面氣化成氣態(tài)原子、分子或部分電離成離子，并通過低壓氣體或等離子體過程，在基體表面沉積具有某種特殊功能的薄膜的技術。在對工件進行鍍膜的真空鍍膜機內，材料源一般是固定不動的，為提升工件鍍膜的均勻性，一般會將支撐工件的樣品臺設置成...
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