技術(shù)編號:8430500
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。半導(dǎo)體制造業(yè)是個復(fù)雜的領(lǐng)域,在刻蝕機進行硅片加工的過程中,機臺操作人員一般不會一刻不離的在機臺旁觀察整個硅片傳輸及工藝過程,他們需要并行的進行很多其他工作或操作其他機臺。這時如果某個機臺發(fā)出了某些關(guān)鍵信號需要及時通知機臺操作人員,則需要一種簡單快捷的通知方式,以便他們能第一時間針對機臺給出的關(guān)鍵信號進行相應(yīng)的處理,以提聞制造效率。塔燈的作用就是在機臺需要給操作人員某些信號的時候,按預(yù)定的設(shè)置進行閃爍或者蜂鳴,方便操作人員及時發(fā)現(xiàn)機臺發(fā)出的信號,并根據(jù)發(fā)出的...
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