技術(shù)編號：8449342
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 納米結(jié)構(gòu)是用于電子及光電子半導(dǎo)體裝置的有前途的建立塊。在裝置設(shè)計中，納 米結(jié)構(gòu)的=維形狀可具有挑戰(zhàn)。不同晶面可賦予不同生長速率、材料組合物及滲雜。發(fā)明內(nèi)容 一個實施例提供一種制作納米角錐體的方法，所述方法包括；在第一溫度、第一壓 力及第一III-V比率下使用CVD形成第一導(dǎo)電類型III-V族半導(dǎo)體巧或巧巧晶；在第二溫 度、第二壓力及第二III-V比率下使用CVD形成封圍所述第一導(dǎo)電類型半導(dǎo)體的所述巧或 所述巧巧晶的第一導(dǎo)電類型III-V族半導(dǎo)體殼體；及在...
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