技術(shù)編號:8490977
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 用于太陽能電池等的硅晶片通過使用線鋸對硅晶錠進行切斷(切片)而獲得。切 斷硅晶錠的方法有固定磨粒方式和游離磨粒方式兩種。固定磨粒方式使用將碳化硅等磨粒 固著而成的線鋸和冷卻劑(冷卻液)來切斷硅晶錠。另外,游離磨粒方式使用線鋸和含有 磨粒的冷卻劑(泥漿)來切斷硅晶錠。 -般來講,從制造成本的觀點出發(fā),對在硅晶錠的切斷工序中所使用的冷卻劑 (使用過的冷卻劑)進行再利用。該使用過的冷卻劑中含有硅的切削肩(以下,也簡稱為 "切削肩")、線鋸本身的金屬粒、磨粒(以...
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