技術(shù)編號(hào):8527069
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。在目前多晶硅制備領(lǐng)域,生產(chǎn)三氯氫硅時(shí)會(huì)伴生產(chǎn)生四氯化硅、二氯二氫硅。也就是說(shuō),在多晶娃制備領(lǐng)域,二種氯娃燒不能單獨(dú)生廣,而是二種氯娃燒同時(shí)存在(即本發(fā)明中的含氯娃燒)O其中,二氯氫娃是制備半導(dǎo)體級(jí)多晶娃和太陽(yáng)能級(jí)多晶娃的重要原材料,也是制造硅烷偶聯(lián)劑和其它有機(jī)硅產(chǎn)品的重要中間體。隨著國(guó)際國(guó)內(nèi)對(duì)多晶硅需求的日益增加,大批量以及高質(zhì)量的三氯氫硅的穩(wěn)定供應(yīng)就顯得及極其重要。目前,通常采用精餾技術(shù)對(duì)含氯硅烷中三氯氫硅進(jìn)行提純,雜質(zhì)含量越低越好,其中所說(shuō)的雜質(zhì)包括各...
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