技術(shù)編號:8556522
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明設(shè)及微機電系統(tǒng),尤其是一種MEMS巧螺自動標(biāo)定方法。背景技術(shù) 近年來,隨著微機電系統(tǒng)MEMS(Micro-ElectroMechanicalSystems)技術(shù)的發(fā)展 而產(chǎn)生的MEMS巧螺具有成本低(大批量生成時)、尺寸小、重量輕、功耗低、可靠性高等優(yōu) 點。正因為該些優(yōu)點,MEMS巧螺被廣泛應(yīng)用于消費類電子產(chǎn)品,例如手機、游戲設(shè)備、可穿 戴設(shè)備等。但是,MEMS巧螺誤差(主要是零偏和比例因子誤差)存在巨大的逐次上電不穩(wěn) 定性,并可能隨著使用環(huán)境(尤...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。