技術(shù)編號(hào)：8624781
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型總體涉及真空泵，更具體地說，涉及離子泵元件。背景技術(shù)離子泵(也稱為濺射離子泵)是一種公知的真空捕獲泵，其能夠達(dá)到理想條件下低至1-1lmbar的壓力。離子泵是這樣一種裝置，其在(離子泵所連接的)容器內(nèi)離子化氣體并且采用強(qiáng)電勢，通常為3kV至7kV，這允許氣體離子加速進(jìn)入固體電極和其殘留物且由其捕獲。公知的離子泵的基本元件是彭寧講(Penning trap)。通過使用均勻的靜磁場和空間上不均勻的靜電場，彭寧阱是用于存儲(chǔ)帶電粒子的裝置。彭寧阱使用強(qiáng)均...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。