技術(shù)編號(hào):8640410
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在半導(dǎo)體晶圓制造過程中,制造芯片過程中,一般都會(huì)用到晶圓測試裝置,一般包括針卡、承片臺(tái)、承片臺(tái)固定座、固定座安裝板及移動(dòng)機(jī)構(gòu),操作者使用晶圓測試裝置在對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行抽樣檢測過程中,由于產(chǎn)品尺寸較小,需要細(xì)看才能確認(rèn)測試位置,每次測試,測試結(jié)果便反饋在測試儀表上,操作者都需要抬頭確認(rèn)測試結(jié)果,再低頭細(xì)看測試位置后測試,如此循環(huán),從而導(dǎo)致測試晶圓的效率較低,穩(wěn)定性和準(zhǔn)確率差,生產(chǎn)效率低且易導(dǎo)致測試者頸部疲勞。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種晶圓測試裝置,能夠解決現(xiàn)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。