技術(shù)編號(hào)：8708927
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。濺射鍍膜的操作過程是，在真空條件下，用帶有正電荷的粒子轟擊帶有負(fù)電荷的陰極靶材表面，使靶材表面濺射出原子或者分子，這些從靶材表面濺射出的粒子沉積在基板上形成薄膜。然而，鍍膜交流電源在旋轉(zhuǎn)靶材工作時(shí)正負(fù)極在靶材上時(shí)交替運(yùn)行的，當(dāng)鍍膜玻璃經(jīng)過平面靶及旋轉(zhuǎn)靶靶材下方時(shí)，旋轉(zhuǎn)靶下方的玻璃表面會(huì)產(chǎn)生高電壓，電荷會(huì)通過玻璃膜層向平面靶低電壓區(qū)域移而導(dǎo)致放電，造成玻璃膜面的燒傷。為了克服上述問題，一般會(huì)采用兩種方法進(jìn)行解決第一，降低靶材的使用功率，從而減慢濺射速度，但是...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。