技術(shù)編號:8800139
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。離子束材料表面改性技術(shù)是目前先進的材料表面處理技術(shù)之一。陰極真空電弧源因其引出束流大,離化率高,能夠引出離子種類多等優(yōu)點廣泛應(yīng)用于材料表面改性領(lǐng)域,其中離子束沉積、離子注入是最主要的兩個應(yīng)用。文獻《強流金屬離子束材料表面改性研宄》,張通和,梁宏,馬芙蓉,1997,14(3)描述了離子注入對材料表面改性研宄與應(yīng)用已經(jīng)并正在發(fā)揮重要而深遠的影響。陰極真空電弧源是在高真空條件下,利用陰陽極問的弧放電產(chǎn)生等離子體,因而可以用于等離子體沉積鍍膜,這就是常規(guī)的電弧離子...
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