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      壓印用模具的制造方法、壓印用模具、壓印用模具制造組件的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):8926277

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      所謂壓印技術(shù),是將具有所需的微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的模具向基板上的液狀樹脂等轉(zhuǎn)印材料按壓、并借此將模具的反轉(zhuǎn)圖案向轉(zhuǎn)印材料轉(zhuǎn)印的微細(xì)加工技術(shù)。作為微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案,存在有從1nm水平的納米尺度的圖案到10ym左右的圖案,被用于半導(dǎo)體材料、光學(xué)材料、存儲(chǔ)介質(zhì)、微型機(jī)器、生物、環(huán)境等各種領(lǐng)域中。作為反轉(zhuǎn)圖案向轉(zhuǎn)印材料上的轉(zhuǎn)印方法,有如下的方法,S卩,使用將薄膜模具卷繞在轉(zhuǎn)印輥上而制作的輥筒狀的壓印用模具、或利用金屬的切削制作的金屬輥,利用卷對(duì)卷工藝向...
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