技術(shù)編號(hào):8926277
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。所謂壓印技術(shù),是將具有所需的微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的模具向基板上的液狀樹脂等轉(zhuǎn)印材料按壓、并借此將模具的反轉(zhuǎn)圖案向轉(zhuǎn)印材料轉(zhuǎn)印的微細(xì)加工技術(shù)。作為微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案,存在有從1nm水平的納米尺度的圖案到10ym左右的圖案,被用于半導(dǎo)體材料、光學(xué)材料、存儲(chǔ)介質(zhì)、微型機(jī)器、生物、環(huán)境等各種領(lǐng)域中。作為反轉(zhuǎn)圖案向轉(zhuǎn)印材料上的轉(zhuǎn)印方法,有如下的方法,S卩,使用將薄膜模具卷繞在轉(zhuǎn)印輥上而制作的輥筒狀的壓印用模具、或利用金屬的切削制作的金屬輥,利用卷對(duì)卷工藝向...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。