技術(shù)編號(hào)：8938301
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 單晶娃是一種十分重要的半導(dǎo)體材料，其生產(chǎn)工藝的發(fā)展分為W下幾個(gè)階段 第一階段是用鋼絲或粗管做熱載體，使用方便，生產(chǎn)設(shè)備簡(jiǎn)單，用粗管是為了中間可W 用酸腐蝕掉粗管用W制備區(qū)烙法單晶娃的娃料。但高溫下金屬原子擴(kuò)散影響多晶娃純度和 品質(zhì)，運(yùn)一工藝很快被娃忍熱載體取而代之。 第二階段是區(qū)烙法生產(chǎn)娃忍（圓娃忍）娃是半導(dǎo)體，具有溫度越高電阻越低的負(fù) 阻效應(yīng)，用區(qū)烙法拉制的娃忍在加熱后或高壓擊穿后低壓加熱成為熱載體在還原爐內(nèi)進(jìn)行 還原反應(yīng)沉積生長(zhǎng)多晶娃，生產(chǎn)的多晶娃質(zhì)...
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