技術(shù)編號(hào)：9198848
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及微結(jié)構(gòu)面形質(zhì)量檢測(cè)，特別涉及一種用于微結(jié)構(gòu)工件的斜率 自適應(yīng)形貌測(cè)量方法。背景技術(shù) 隨著精密加工技術(shù)的發(fā)展，各種微結(jié)構(gòu)器件不斷出現(xiàn)，這些微結(jié)構(gòu)器件通常具有 復(fù)雜的面形幾何特征，具體表現(xiàn)為垂直側(cè)壁、陡峭斜坡、尖端銳角等。目前對(duì)于這些微結(jié)構(gòu) 器件的測(cè)量主要難點(diǎn)在于受測(cè)量系統(tǒng)本身最大可探測(cè)角的限制，導(dǎo)致在陡峭斜坡區(qū)域存 在一定的測(cè)量盲區(qū)，在測(cè)量結(jié)果中引入不可補(bǔ)償?shù)臏y(cè)量誤差；如何快速準(zhǔn)確地測(cè)量這些微 結(jié)構(gòu)器件已成為亟待解決的科學(xué)難題。 近年來(lái)人們做了大...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。