技術(shù)編號：9210170
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一直以來，在半導(dǎo)體制造工序中，大量使用高純度的氫氣作為環(huán)境氣體。關(guān)于這樣的氫氣，因半導(dǎo)體的集成度的提高而要求雜質(zhì)的濃度為極低的濃度(PPb水平以下)。另一方面，作為工業(yè)大量制造高純度氫的方法，人們公知如下方法以深冷吸附法、變壓法等，將從甲醇、二甲醚、天然氣、液化石油氣等以水蒸氣改質(zhì)反應(yīng)而得到的改質(zhì)氣體分離為氫氣與氫氣以外的氣體，從而得到氫。深冷吸附法為如下提純方法將含氫氣體流通于吸附筒以除去氫以外的雜質(zhì)，該吸附筒中填充了將液氮作為制冷劑而被極低溫化后的吸附...
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