技術(shù)編號(hào)：9234576
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在同步輻射光束線和EUV光刻領(lǐng)域，需要用到各種面形復(fù)雜的光學(xué)元件，主要的反射表面形狀有平面、柱面、環(huán)面、球面、拋物面和橢球面。根據(jù)應(yīng)用環(huán)境的不同，以及對(duì)光學(xué)元件需求的不同，可采用不同的加工方式來獲得所需要的面形。主要加工方式有兩種磨制和彎曲變形。與磨制相比，彎曲變形具有半徑可調(diào)，表面精度高和易于制造等優(yōu)點(diǎn)。目前，由于現(xiàn)有的X射線波段光學(xué)元件彎曲變形裝置只對(duì)光學(xué)元件的兩個(gè)端部施加彎矩，所以只能實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件簡(jiǎn)單的彎曲變形，壓制出大曲率半徑的柱面面形，而且在壓彎...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。