技術(shù)編號(hào)：9252046
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及液體組合物，更詳細(xì)而言，涉及用于蝕刻含有銅和鈦的多層膜的液體 組合物、和使用該液體組合物蝕刻含有銅和鈦的多層膜的方法、以及利用該蝕刻方法制造 含有銅和鈦的多層膜配線的方法、以及利用該多層膜配線的制造方法制造的基板。背景技術(shù) 作為以往的平板顯示器等顯示裝置的配線材料，一般使用鋁或鋁合金。但是，伴隨 著顯示器的大型化和高分辨率化，這樣的鋁系配線材料由于配線電阻等特性而產(chǎn)生信號(hào)延 遲問題，難以顯示均勻的畫面。 與鋁（A1)相比，銅（Cu)具有電阻低這...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。