技術(shù)編號：9347934
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。多晶硅是一種超高純材料，用于集成電路、電子器件和太陽能電池領(lǐng)域。目前國內(nèi)多晶硅的主要生產(chǎn)方法是改良西門子法，主要包括三氯氫硅合成、精餾提純、三氯氫硅氫氣還原、尾氣干法回收、四氯化硅氫化等工序。改良西門子法的高純氫氣還原工序生產(chǎn)多晶硅過程中，包括三氯氫硅與氫氣的反應(yīng)原料在還原爐內(nèi)約1050°C高溫下通過化學(xué)氣相沉積生成高純度多晶硅。與高溫硅棒有直接輻射熱傳遞的還原爐爐筒和底盤需要通入冷卻介質(zhì)，以防止其被持續(xù)的高溫?zé)釗p傷。傳統(tǒng)的還原爐換熱方法為用高溫水(或?qū)?..
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