技術(shù)編號：9351494
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。隨著集成電路的發(fā)展，器件尺寸越來越小，集成度越來越高。而且，隨著半導(dǎo)體器件特征尺寸由于器件尺寸越來越小而不斷減小，傳統(tǒng)的平面半導(dǎo)體制造技術(shù)已經(jīng)無法使用，目前鰭式場效應(yīng)管在小尺寸領(lǐng)域被廣發(fā)使用。在鰭式場效應(yīng)管結(jié)構(gòu)中柵極與溝道接觸面的決定了驅(qū)動電流的大小，即接觸面積越大，驅(qū)動電流越大。但是，目前的某些鰭式場效應(yīng)管的驅(qū)動電流還沒有足夠大到能夠滿足大部分的應(yīng)用場合。由此，希望能夠提供一種能夠提高鰭式場效應(yīng)管器件的驅(qū)動電流的制備方法。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題...
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