技術(shù)編號(hào)：9377835
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 低溫多晶娃薄膜晶體管（Low Temperature Poly-Silicon-Thin Film Transistor，簡稱LTPS-TFT)顯示器具有高分辨率、反應(yīng)速度快、高亮度、高開口率等優(yōu)點(diǎn)， 加上由于LTPS的特點(diǎn)，使得其具有高的電子移動(dòng)率。 目前，LTPS TFT包括設(shè)置在襯底基板上的有源層、柵絕緣層、柵電極、源電極和漏 電極，有源層為采用多晶硅制成。LTPS TFT制備的關(guān)鍵技術(shù)是將非晶硅轉(zhuǎn)變?yōu)槎嗑Ч璧慕Y(jié) 晶化方法。這些方法可以分成非激光結(jié)...
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