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      用以制造高效能金屬氧化物和金屬氮氧化物薄膜晶體管的柵極介電層處理的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:9378235

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      因 TFT陣列可用在常用于計算機和電視平面面板的液晶主動矩陣顯示器(LCD), 故現(xiàn)時對這些裝置特別感興趣。LCD還設(shè)有發(fā)光二極管(LED)做為背光。另外,有機發(fā)光二 極管(OLED)已用于主動矩陣顯示器,且這些OLED需要TFT來處理顯示器的動作。 以非晶硅制作的TFT已成為平面面板顯示器產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵組件。可惜非晶硅有其限 制,例如低迀移率。OLED所需的迀移率至少是非晶硅所能達到的十倍以上。此外,OLED顯 示器為電流驅(qū)動組件,故易受Vth漂移影響。高...
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