技術(shù)編號(hào):9381189
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。MEMS(Micro-Electro-Mechanical System,微機(jī)電系統(tǒng))麥克風(fēng)是指利用半導(dǎo)體制程或其他微精密技術(shù),同時(shí)整合電子、機(jī)械等各種功能于一微型元件或裝置內(nèi)的技術(shù),具有外觀尺寸小、電量損耗低、對(duì)于周圍環(huán)境干擾具有更好的抑制能力等優(yōu)點(diǎn),已成為市場(chǎng)發(fā)展的主流。傳統(tǒng)的MEMS麥克風(fēng)封裝體的內(nèi)部結(jié)構(gòu)如圖1所示,印制電路板基板I上設(shè)置單個(gè)聲學(xué)感測(cè)元件2和ASIC (Applicat1n Specific IC,專用集成電路)芯片3及其他電路元件,...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。