技術(shù)編號：9472708
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。基于微細加工技術(shù)制備的MEMS慣性開關(guān)體積小、閾值一致性高，制造成本低，已取代傳統(tǒng)機械慣性開關(guān)成為微系統(tǒng)植入傳感器的主流。傳統(tǒng)的MEMS慣性微開關(guān)，當受到超過閾值加速度的沖擊時，移動電極與固定電極剛性接觸，開關(guān)接通時間極短，外電路很難感知開關(guān)的瞬間變化，故而受到大規(guī)模的限制；而且，傳統(tǒng)MEMS慣性微開關(guān)，其約束結(jié)構(gòu)過于簡單，當遭受非敏感方向的沖擊時，不能有效約束其移動電極的大范圍運動，易導致器件中彈簧應力過于集中，發(fā)生斷裂，致使器件失效。韓國延世大學J.-...
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