技術編號：9476139
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。專利說明控制福射源和包括福射源的光刻設備的方法 巧關申請的香叉引用 本申請要求享有2013年5月20日提交的美國臨時申請61/825,300的優(yōu)先權，并 且在此通過整體引用將其并入本文中。 本發(fā)明設及對用于將福射傳遞至例如光刻設備的福射源的操作。背景技術 光刻設備是施加所需圖案至襯底的目標部分上的機器。光刻設備例如可W在集成 電路（1C)的制造中使用。在該情形中，備選地稱作掩?；蜓谀０娴膱D案形成裝置可W用于 賦予福射束W對應于1C的各個層的電路圖案，并且該...
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